탑엔지니어링, 대전방지용 시트 관련 특허 취득

[ 김민재 기자 ] 탑엔지니어링은 대전방지용 시트와 대전방지된 작업 스테이지에 관한 특허권을 취득했다고 16일 공시했다.

회사 측은 "탄소나노튜브를 포함한 대전 방지 물질을 작업스테이지에 코팅했다"며 "반도체 제조 장비, 디스플레이 장치와 테스트 장치 등 대전방지가 필요한 작업 스테이지에 적용 가능하다"고 말했다.

한경닷컴 김민재 기자 mjk1105@hankyung.com