테스 '플라즈마 이용 탄소막 증착법' 특허
(서울=연합뉴스) 전명훈 기자 = 반도체 장비업체 테스[095610]는 '플라즈마를 이용한 비정질 탄소막의 증착 방법' 국내 특허를 취득했다고 6일 공시했다.
이 기술을 활용하면 공정 효율성을 개선할 수 있다고 회사 측은 설명했다.
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