테스, 반도체 제조장치 관련 특허권 취득

테스가 반도체 제조장치 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사 측은 "공정 가스의 불안정한 기류 발생을 방지하고, 열 손실을 방지하여 기판 상에 증착되는 박막의 균일성을 향상시킬 수 있다"고 특허권의 내용을 설명했다.