테스가 웨이퍼 블레이드에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.
테스는 특허권의 내용에 대해 "웨이퍼를 그립하여 이송하는 기본적 기능과 함께 웨이퍼를 기설정 된 방향으로 정렬하는 얼라인 기능을 수행할 수 있어 공정효율이 증대된다는 장점이 있다"고 설명했다.
또 "그립 기능과 얼라인 기능이 별도의 구성에 의하여 별도의 동작에 의하여 수행되는 것이 아니라 단일한 구성에 의하여 동시에 행해지므로 매우 경제적이라는 장점이 있다"고 설명했다.
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