[ 채선희 기자 ] 테스는 박막증착장치와 관련한 특허권을 취득했다고 29일 공시했다.
사측은 "이번 특허는 디스플레이 장비에 적용되는 기술"이라며 "박막증착장치의 내부 부피를 최소화할 수 있어 설치면적을 줄일 수 있고 공정가스 양도 줄여 비용을 감소시킬 수 있으며 이물질이 침투하는 것을 방지할 수 있다"고 설명했다.
채선희 한경닷컴 기자 csun00@hankyung.com
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