테스는 대면적 기판 처리 장치 관련 특허를 취득했다고 28일 공시했다.
회사 측은 "기판 대면적화에 따른 반응 챔버의 공간적 제약을 제거할 수 있는 기술"이라며 "특허기술을 적용해 신규 장비 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.
한경닷컴 오정민 기자 blooming@hankyung.com
▶[속보] 급등주 자동 검색기 '정식 버전' 드디어 배포 시작
▶[한경 스타워즈] 대회 전체 수익 2억원에 달해.. 비결은?
▶ 유퉁, 33살 연하女와 7번째 결혼하려다 그만
▶ "MB정부 사기극 밝혀졌다" 교수들 폭탄 발언
▶ 女고생 "3개월간 성노예였다" 선배가 강제로…
▶ "돈 있으면 다 돼" 청담女, 이런 짓까지…경악
▶ 정경미-윤형빈 결혼 2달 만에 '이럴 줄은'
[한국경제 구독신청] [온라인 기사구매] [한국경제 모바일 서비스]
ⓒ <성공을 부르는 습관> 한경닷컴, 무단 전재 및 재배포 금지
<한국온라인신문협회의 디지털뉴스이용규칙에 따른 저작권을 행사합니다>
뉴스
