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연구팀은 꿈의 소재로 불리는 그래핀 기판 위에 현재 반도체 미세공정의 최고 수준인 20나노미터(㎚·10억분의 1m)급 패턴을 구현했다. 그래핀은 강도가 높으면서도 유연성이 뛰어나 휘어지는 디스플레이 소재로 주목받고 있지만 그래핀 기판 위에 미세화한 패턴을 구현하는 데 어려움을 겪어왔다.
연구팀은 분자조립 기술을 이용해 그래핀 위에 초미세 패턴을 형성하는 데 성공했다. 분자조립 기술은 서로 다른 두 고분자가 물과 기름처럼 섞이지 않는다는 점을 이용해 플라스틱, 액정, 생체분자처럼 유연한 연성 소재의 고분자를 원하는 형태로 스스로 배열하게 하는 기술이다.
두 고분자는 머리카락 굵기의 1만분의 1 수준으로 미세한 주기적 패턴을 형성한다. 물질을 섞어주기만 하면 화학반응을 이용해 스스로 배열하기 때문에 고가의 장비를 사용할 필요가 없다. 비용이 저렴하고 대용량의 반도체를 제작할 수 있어 고성능 플렉시블 전자기기 개발에 활용할 수 있다는 게 연구팀의 설명이다.
김상욱 교수는 “지금까지 발표된 휘어지는 반도체는 온도에 취약한 플라스틱 기판을 사용하기 때문에 극한의 반도체 공정을 견딜 수 없어 상용화가 어려웠다”며 “이 기술을 이용하면 기계적 물성이 우수한 그래핀을 휘어지는 기판으로 사용할 수 있을 것”이라고 말했다.
이번 연구 성과는 재료 분야 학술지인 ‘어드밴스트 머티리얼스(Advanced Materials)’에 실렸다.
김태훈 기자 taehun@hankyung.com
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