에스엔텍 "반도체 공정 진단센서 개발 국책과제 선정"
(서울=연합뉴스) 조민정 기자 = 에스엔텍은 실시간으로 반도체 공정 상태를 진단하는 웨이퍼형 공정진단센서 시스템 개발이 국책과제 사업에 선정됐다고 10일 공시했다.
이에 따라 에스엔텍은 이달부터 2020년 12월 31일까지 45개월간 사업비 64억원 규모의 온도·플라스마 모니터링 기능을 갖는 웨이퍼형 센서 측정 시스템을 개발하게 된다.
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