주성엔지니어링, 플라즈마관련 특허 취득

주성엔지니어링은 ''높은 플라즈마 균일도를 가지는 유도성 결합 플라즈마 발생장치 및 이를 이용한 플라즈마 균일도 제어 방법''에 관한 특허를 취득했다고 8일 공시했다.