태양광, OLED, LCD, 반도체 산업용 종합장비 전문 기업인 에스엔유프리시젼이 지식경제부가 주관하는 나노반도체장비 원천기술상용화 사업의 사업자로 최종선정 되었다고 금일 발표했습니다.
본 사업은 3년에 걸쳐 정부로부터 지원 받아 반도체의 집적도와 반도체 생산의 수율에 직접적인 영향을 미치는 CD(Critical Dimension, 임계치수)값을 인라인 공정중에서 측정하는 전자현미경 장비를 개발하는 것으로 외국기업이 100%의 시장점유율을 가진 반도체측정장비의 국산화 사업입니다.
에스엔유는 이미 LCD 검사 및 측정장비분야에서 글로벌시장 에서 70%이상의 점유율을 가지고 있는 기업으로, 반도체 분야의 측정 및 검사장비분야에서는 2007년 미국의 Nanometric社로부터 CD-SEM관련 원천특허들을 양수해 옴으로써 사실상 CD SEM 장비의 국산화 사업을 진행할 수 있는 최적의 업체로 인식되어 왔다. 따라서 에스엔유가 주관하여 CD SEM 장비를 개발하고 삼성전자는 In-Iine 테스트 및 장비의 성능평가를 담당할 것으로 보여집니다. .
회사관계자는 “관련 핵심기술과 부품에 대한 국산화가 이미 상당히 준비가 된 상태로, 이번 상용화 사업이 성공적으로 이뤄질 경우 반도체 주요 고객인 삼성전자등에 공급이 가능할 것”이라며 “LCD, OLED, 태양광 장비사업과 더불어 반도체사업이 당사의 차세대 성장동력이 될 것으로 기대한다”고 말했습니다.
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