한국표준과학연구원(KRISS·이하 표준연) 길이센터 엄태봉 박사팀이 레이저 간섭계의 측정 정확도를 높이는 정밀교정 시스템을 최근 개발했다.
레이저 간섭계는 레이저의 간섭 특성을 이용해 길이를 측정하는 장치로, 길이표준 분야 최상위 측정기다. 반도체·액정표시장치(LCD) 제조나 조선, 항공기 등 각종 산업 현장에서 폭넓게 사용되고 있다.
기존 레이저 간섭계는 레이저 주파수만을 교정해 사용하다 보니 온도, 압력, 습도 등 환경 요소 변화에 따라 레이저 파장이 달라지면서 미세한 측정 오차가 생기는문제가 있었다.
예컨대 기온 1도 차이에서 1ｍ 길이에 대한 측정값은 1㎛(마이크로미터) 정도의오차가 있었다고 표준연은 설명했다.
엄태봉 박사팀이 개발한 교정 시스템은 이러한 환경 인자를 고려했다. 이 시스템을 통해 표준연이 보유한 레이저 간섭계와 산업 현장에서 사용되는 레이저 간섭계사이 측정값을 비교해 그 오차를 확인할 수 있다.
교정 중 환경 요소 변동과 교정 시스템 운동 오차 등의 영향을 최소화해 교정정확도를 높였다.
표준연은 수요자 요구에 맞춰 2ｍ 범위의 단거리, 50ｍ 범위의 장거리 레이저간섭계 교정 서비스를 하고 있다.
표준연 엄태봉 박사는 21일 "산업 현장에서 별도의 복잡한 파장 보정 과정 없이길이 측정 정확도를 지금보다 10배가량 향상시킬 수 있다"고 말했다.
walden@yna.co.kr(끝)<저 작 권 자(c)연 합 뉴 스. 무 단 전 재-재 배 포 금 지.>
뉴스
