LG화학은 앰코테크놀로지에 반도체용 스트리퍼 생산 제품을 공급하기로 계약했다고 5일 밝혔다. 반도체 스트리퍼 개발에 나선 뒤 첫 공급 계약이다.
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스트리퍼는 웨이퍼 위에 회로를 형성한 뒤 기판에 남아 있는 감광액과 잔여물을 제거하는 소재다. 회로 패턴이 점점 미세해지면서 잔여물 제거는 제품 수율에 직결되는 핵심 공정이 됐다.
LG화학은 기존 디스플레이용 스트리퍼를 생산하며 축적한 기술력을 바탕으로 반도체용 스트리퍼 시장에 뛰어들었다. 앰코테크놀로지에 공급하는 제품은 신규 라인 맞춤형 스트리퍼로, 감광액과 잔여물을 벗겨내는 시간을 기존의 절반으로 단축했다.
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노유정 기자 yjroh@hankyung.com
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