삼성, 美 테일러공장 EUV '시동'

삼성전자가 오는 3월부터 미국 텍사스주 테일러 1공장에서 초미세 공정에 필요한 핵심 장비인 극자외선(EUV) 노광 장비 시험 가동(턴온)에 들어간다. 삼성은 식각·증착 장비를 차례로 들여와 올 하반기 본격 가동에 나선다. 삼성의 첫 해외 파운드리(반도체 수탁생산) 공장인 이곳에서는 지난해 7월 수주한 23조원 규모의 테슬라 자율주행 칩(AI5 및 AI6)을 생산한다.

19일 업계에 따르면 삼성전자는 조만간 현지 주정부와 테일러시에 1공장의 임시사용승인(TCO)을 신청할 것으로 알려졌다. TCO는 소방·안전 등 각종 요건을 갖추면 준공 전에도 사용을 허가하는 행정 절차다. 삼성은 테일러 공장의 빠른 수율 안정화를 위해 본사 에이스급 엔지니어 등을 현지에 대거 보냈다.


SK하이닉스는 인공지능(AI) 열풍이 부른 메모리 슈퍼 호황에 대응하기 위해 경기 용인 반도체 클러스터 1기 공장 가동 시점을 내년 5월에서 2~3개월 앞당기는 방안을 추진하고 있다. 1기 공장이 가동되면 SK의 D램 생산량은 월 60만~70만 장(12인치 웨이퍼 기준)으로 확대돼 삼성전자(약 65만 장)와 맞먹는다.

업계 관계자는 “반도체 ‘투톱’의 국내외 핵심 공장이 올 하반기와 내년 초 가동에 들어가면 K반도체의 경쟁력이 한층 더 높아질 것”이라고 말했다.


테일러=김채연/용인=박의명 기자 why29@hankyung.com