반도체 첨단 공정 장비업체 FST 흑자 전환 성공

반도체 첨단 공정 장비 전문업체 에프에스티(FST)가 지난해 매출액 2374억원, 영업이익은 22억8727만원으로 흑자 전환했다고 11일 공시했다.

FST는 반도체 핵심 공정 장비인 펠리클을 개발, 생산하는 업체다. 펠리클은 빛으로 반도체 웨이퍼에 회로 모양을 반복적으로 찍어내는 노광 공정에서, 포토마스크의 오염을 최소화하기 위해 마스크에 씌우는 덮개다.

FST 측은 “심자외선(DUV) 펠리클 및 장비 매출 증가로 수익성이 개선됐다”고 설명했다.

황정환 기자 jung@hankyung.com