삼성전자는 포스코와 함께 전량 수입에 의존해온 반도체 핵심 소재 ‘제논(Xe)’ 가스의 국산화를 추진한다고 27일 밝혔다.
제논 가스는 3차원(3D) V낸드 등 첨단 반도체 생산에 필수로 사용되는 희귀가스 중 하나다. 공기 중에 극미량이 포함돼 있어 대형 공기분리장치를 보유한 제철소에서 주로 생산된다.
삼성전자는 이날 포스코와 ‘반도체용 제논 가스 사업 협력’을 위한 양해각서를 체결하고, 2024년부터 제논 가스를 공급받기로 했다. 포스코는 내년까지 광양제철소 공기분리장치에서 제논 가스를 추출하는 설비 기술을 개발한다는 방침이다. 이곳에선 2024년부터 제논 가스 생산을 시작해 2027년까지 생산량을 확대하기로 했다.
삼성전자는 포스코가 생산한 제논 가스의 품질 인증을 거쳐 생산라인에 투입할 계획이다.
정지은 기자 jeong@hankyung.com
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