이재용 삼성전자 부회장이 네덜란드 총리에게 선물한 반도체 웨이퍼에 새겨진 그림이 ASML의 기술로 만든 것으로 알려졌다. ASML 기술이 들어간 웨이퍼라는 점이 포인트로, 네덜란드 기업인 ASML의 반도체 초미세공정 핵심장비 수급에 협조해달라는 의미를 담은 것으로 풀이된다.
16일 삼성전자에 따르면 이 부회장은 14일(현지시간) 마르크 뤼터(Mark Rutte) 네덜란드 총리를 면담했다. 뤼터 총리는 차기 유럽연합(EU) 정상회의 의장 후보로 거론되는 거물급 정치인으로, 이 부회장과 뤼터 총리가 만난 건 2016년 9월 이후 약 6년 만이다. 당시 이 부회장은 직접 삼성전자 전시관 '딜라이트'를 안내했다. 뤼터 총리는 지난 3월에도 윤석열 당시 대통령 당선인과 통화해 양국 간 반도체 협력 확대를 논의한 바 있다.
이번 만남에서 주목받은 건 이 부회장이 뤼터 총리에게 선물한 웨이퍼다. 이 부회장은 뤼터 총리에게 삼성과 네덜란드의 오랜 협력과 우정에 감사하다는 내용의 문구를 12인치 반도체 웨이퍼에 네덜란드어로 각인해 선물했다.
웨이퍼 배경 이미지는 네덜란드 총리 공관인데, 이 이미지를 그리는 데 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML 기술이 사용된 것으로 확인됐다. 웨이퍼에 그려진 총리 공관이 사실적이어서 사진을 웨이퍼 표면에 코팅한 것 아니냐는 말까지 나오기도 했다. 하지만 ASML의 극자외선(EUV) 노광장비 레이저 기술로 충분히 정교하게 그림을 새길 수 있다는 게 업계 중론이다.
이 부회장이 뤼터 총리에게 ASML 기술이 담긴 웨이퍼를 특별 제작해 선물한 이유는 이 업체의 장비 수급이 워낙 어려워서다. EUV 노광 장비는 반도체 원판인 실리콘 웨이퍼에 7나노미터(㎚·10억분의 1m) 이하의 미세 회로를 새길 수 있는 최첨단 필수 장비다. 전 세계에서 ASML이 독점 생산·공급하고 있는데다 연간 생산량은 연간 50대 안팎에 그쳐 삼성전자로서는 마냥 기다릴 수 밖에 없는 처지다.
파운드리(반도체 위탁생산)에서 세계 1위인 대만 TSMC를 추격해야 하는 삼성전자로서는 ASML 장비 한 대가 아쉬운 상황. 현재 삼성전자 반도체 사업장에서 가동 중인 EUV 노광장비는 15대에 불과한 것으로 알려져 있다. 반면 TSMC는 EUV 노광장비를 현재 100대 이상 운용 중인 것으로 추정된다. 이 부회장이 네덜란드로 날아가 뤼터 총리에게 ASML 기술이 담긴 웨이퍼를 선물하고, ASML 경영진을 급히 만난 이유다.
업계에 따르면 ASML은 올해 EUV 노광장비 장비 55대 생산을 목표로 하고 있다. 이 중 삼성전자는 18대를 확보하는 데 그친 것으로 알려졌다. 하지만 이마저도 부품 부족과 ASML 공장 화재 영향으로 제때 장비를 납품받을 수 있을지 우려가 커지고 있다. 삼성전자 관계자는 "네덜란드 방문은 EUV 노광 장비를 한 대라도 더 많이, 조금이라도 더 빨리 납품받겠다는 이 부회장의 절박한 의지가 담겼다"고 말했다.
이 부회장은 뤼터 총리와의 만남 이후 ASML 본사를 방문해 피터 베닝크 최고경영자(CEO)를 비롯한 경영진을 만났다. 이 자리엔 경계현 삼성전자 DS부문장(사장)도 배석했다. 이 부회장은 지난 2016년과 2019년, 2020년에도 ASML 경영진을 만났다. 삼성전자는 ASML 지분 1.5%를 갖고 있다.
삼성전자 관계자는 "이 부회장과 ASML 경영진은 EUV 노광장비의 원활한 수급 방안과 미래 반도체 기술 트렌드, 두 회사의 중장기 사업 방향 등에 대해 폭넓게 논의했다"고 전했다.
강경주 한경닷컴 기자 qurasoha@hankyung.com
