키파운드리는 온실가스 배출권을 확보하고 감축 대응 계획을 적극 실천하는 등 ESG(환경·사회·지배구조) 경영을 강화하고 있다고 14일 밝혔다. 반도체 공정에서 웨이퍼의 청정도를 확보하고 생산성을 높이기 위해 쓰는 정제된 물 ‘초순수’(DI) 재이용률을 57%로 끌어올린 게 대표적이다.
키파운드리는 공정에 사용되는 온실가스인 플루오린도 온난화지수가 낮은 과불화프로판으로 대체했다고 설명했다. 과불화화합물(PFC) 사용 장비에 저감 설비인 플라즈마 스크러버 설치를 확대해 지난해 감축한 온실가스 양도 약 8만t에 달한다. 2022년부터는 이 양을 15만t으로 늘릴 계획이다.
김병근 기자 bk11@hankyung.com
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