네덜란드 반도체 장비 업체 ASML이 중국 최대 반도체 파운드리(위탁생산) 기업인 SMIC과 올해 말까지 반도체 장비 판매를 위한 계약을 연장했다. 미 상무부가 지난해 12월 SMIC를 상대로 반도체 장비·부품 판매 금지 조치를 내린 이후 주요 반도체 기업이 중국 업체와 수출 계약을 맺은 것은 이번이 처음이다.
3일(현지시간) 로이터에 따르면 ASML은 지난달 말 SMIC와 12억달러(약 1조5000억원) 규모의 반도체 생산장비 공급 계약을 체결했다. ASML은 첨단 노광장비를 거의 독점적으로 공급해 세계 반도체 시장에서 매우 중요한 역할을 하는 회사다. 삼성전자, TSMC 같은 세계적 파운드리가 1년에 불과 몇 십대 밖에 생산이 안되는 극자외선 공정 노광 장비를 구하기 위해 치열한 경쟁을 벌일 정도다. 그러나 보도에 따르면 ASML이 이번에 SMIC에 공급하는 장비는 최첨단 EUV 공정 노광 장비가 아니라 구형인 심자외선(DUV) 공정 장비다.
ASML의 SMIC 계약으로 인해 현지에선 중국 기업에 대한 미 제재가 완화되는 것 아니냐는 분석이 나온다. 미 정부는 지난해 12월부터 SMIC를 포함해 주요 중국 기업에 미국 기술이 들어간 반도체 장비·부품 수출을 하려면 미 상무부의 허가를 받도록 하고 있다. 미국 기업은 물론 미국의 기술을 사용한 다른 나라 기업도 SMIC에 반도체 장비·부품을 판매할 수 없도록 하고 있다.
최근 미 정부도 자국 반도체 설비·재료 업체들이 SMIC에 제품을 공급할 수 있도록 여러 건의 수출 승인을 내준 것으로 알려지면서 조 바이든 행정부 출범 이후 중국 기업을 대상으로 한 제재가 일부 완화하는 조짐이 나타나고 있다는 평가도 나온다. 미 대형 금융투자사 모건스탠리는 최근 반도체 시장 보고서에서 최첨단 미세 공정을 제외한 일반 성숙 공정 분야와 관련해서는 미국 설비 공급상들이 SMIC 대상 제품 공급과 현장 지원 서비스를 이미 재개했다고 밝혔다.
노정동 한경닷컴 기자 dong2@hankyung.com
