위지트는 "이번 특허는 액정표시장치(LCD) 화학기상증착장비(CVD) 챔버 내부에 설치되는 서셉터에 관한 기술"이라며 "특허 기술이 적용된 제품은 표면 조도가 높게 형성되고 서셉터와 기판의 접촉 면적 및 정전력을 줄여 제조 시 기판과 서셉터의 분리를 용이하게 할 수 있다"고 설명했다.
오정민 한경닷컴 기자 blooming@hankyung.com
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