11㎚ 프로브 유닛 양산
[ 안재광 기자 ] 기가레인이 고해상도 디스플레이의 불량 여부를 검사할 수 있는 11나노미터(㎚, 1㎚는 10억분의 1m)급 ‘협피치 프로브 유닛’ 양산에 성공했다고 10일 발표했다.
기가레인이 이번에 개발한 장비는 기존 장비보다 훨씬 고해상도 디스플레이 패널 검사가 가능하다는 게 특징이다. 20㎚ 이하로 검사가 가능한 장비는 이번에 개발된 것이 유일하다는 게 회사 측 설명이다.
디스플레이 패널은 보다 선명한 화질과 고해상도를 구현하기 위해 회로를 미세화하는 추세다. 하지만 패널을 검사하는 장비는 기술적 한계 탓에 패널 업계가 요구하는 수준을 맞추지 못했다. 스마트폰과 TV로 쓰임새를 확장 중인 유기발광다이오드(OLED)가 보급화되면서 미세 장비 개발 필요성이 더 커졌다. OLED는 LCD(액정표시장치)와 달리 공정 수율이 최적화되지 않아 이를 해결하기 위한 검사장비 수요가 계속 늘고 있기 때문이다.
기가레인은 2006년 관련 기술을 확보하고 공정 빅데이터를 구축한 뒤 3년여 만에 11㎚ 장비를 개발해냈다. 이 회사 박종군 상무는 “최근 여러 업체로부터 프로브 유닛 제품 문의를 받고 있다”고 말했다.
안재광 기자 ahnjk@hankyung.com
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