경기도는 산업용 로봇 전문기업인 ㈜로봇앤드디자인(대표 한진석)이 도의 기술사업 지원을 받아 반도체용 ‘투명 웨이퍼 정렬장치’ 국산화에 성공했다고 30일 밝혔다.
㈜로봇앤드디자인은 2013년도 기술개발사업에 ‘투명 웨이퍼용 프리 얼라이너(Pre Aligner) 개발’ 과제로 참여, 기술개발 자금을 지원받아 투명한 웨이퍼를 정렬할 수 있는 장치 개발에 성공했다.
프리 얼라이너는 반도체의 재료가 되는 얇은 실리콘 판(웨이퍼)의 중심과 위치를 정렬하는 장치로 반도체 제조 공정시 반드시 필요한 장치다.
그동안 반도체 관련기업의 투명 웨이퍼 정렬 장치 수요가 증가했음에도 정렬 가능한 국내장비가 없어 수입제품에 의존해야 했다.
투명 웨이퍼 정렬장치 개발 성공으로 반도체 제조 공정시 웨이퍼의 크기 및 투명도에 제약 없이 정렬이 가능해졌다. 정밀도와 처리시간 등 선진 기술 대비 동등 이상의 성능 확보로 올 상반기까지 총 46대 판매 성과를 거뒀다.
박준건 ㈜로봇앤드디자인 수석연구원은 “반도체 시장 불황에도 자사가 개발한 프리 얼라이너의 수요가 빠르게 증가하고 있다”며 “개발 필요 적기에 경기도로부터 자금 지원을 받게 돼 좋은 성과를 거둘 수 있었다”고 말했다.
도는 2008년부터 아이디어는 있지만 자금문제로 기술개발에 어려움을 겪는 중 耐蓚?지원을 위해 기술개발 사업을 추진하고 있다.
오는 8월13일까지 2015년도 제2차 경기도 기술개발사업 신청을 접수받고 있다. 도 기술개발 사업에 대한 자세한 정보는 경기도와 경기과학기술진흥원 홈페이지(www.gstep.re.kr)에서 확인할 수 있다. 수원=윤상연 기자 syyoon1111@hankyung.com
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