질화막층착 공정용 장비
中·대만 등 해외 수출도
[ 김인완 기자 ]
신화일렉트론(대표 신원호·사진)은 반도체 공정의 질화막증착 공정용 장비(모델명 Vulcan 300)를 국산화하고 이달부터 양산에 들어간다고 2일 발표했다. 이 회사는 최근 경기 화성시 동탄산업단지에 연면적 3630㎡ 규모의 공장을 준공했다. 공장부지 구입에 35억원, 시설 투자비로 25억원 등 총 60억원을 투자했다.이 회사가 자체 개발한 반도체 장비는 반도체 공정에서 사용 되는 원자층증착(ALD) 장비 중에서 질화막증착 공정에 사용된다. 회사 관계자는 “국산화 성공으로 수입에 의존해 오던 것에서 벗어날 수 있게 됐다”며 “상용화를 위한 실험까지 완료해 이달부터 양산을 시작한다”고 말했다.
이번에 출시한 ‘Vulcan 300’ 모델은 지난 1년여간 25억원을 들여 15명의 연구개발 인력이 참여해 개발했다. 반도체 전 공정에 사용되는 장비로 한 번 진행할 때 125장의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있는 배치타입 장비다.
이번 양산으로 그동안 관련 공정 장비를 일본에서 전량 수입해 오던 것을 국산제품으로 대체할 수 있게 돼 반 돤?제조업체의 원가절감과 경쟁력 강화에 기여할 것으로 회사 측은 전망하고 있다.
이 회사는 생산된 제품을 국내 반도체소자 제조업체를 포함해 중국과 대만의 해외 반도체소자 제조업체에도 공급할 계획이다. 국내 증착장비 시장 규모는 연간 800억원대에 이른다.
신원호 대표는 “수주 현황을 봐가며 올 하반기에 30여명의 기술인력을 추가 채용할 계획”이라며 “양산 첫해인 올해 국내외 판매를 통해 280억원의 매출을 올리겠다”고 말했다. 2009년 스마트론으로 설립된 이 회사는 2013년 현재의 사명으로 변경했고 반도체 식각·세정장치를 비롯해 석탄화력발전처리장치, 환경설비 등을 생산하고 있다.
화성=김인완 기자 iykim@hankyung.com
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