글로벌 엔지니어링 그룹 ABB가 국내 최대 반도체재료장비전시회 ‘세미콘 코리아 2015’에 참가한다고 밝혔다.
2월 4일부터 6일까지 서울 코엑스에서 열리는 이번 전시회에서 ABB는 FT-NIR 분석기의 최신 모델인 ASP 310/320 시리즈를 선보인다. 해당 신규 분석기 모델이 산업 전시회를 통해 공개되는 것은 이번이 처음이다.
ABB의 분석기 ASP 310/320는 반도체 산업을 포함하여 석유화학, 제약 산업 등의 다양한 산업에서도 적용이 가능한 모델로, 비접촉 방식을 채택하고 낮은 오차범위를 보이는 최신기술이 탑재됐음에도 크기가 작고 사용법이 간결하다는 점이 특징이다.
분석기 신규모델 ASP 310/320의 가장 큰 장점은 ‘비파괴 분석’이다. 어떤 온도조건에서도 분석기나 약품의 손상 없이 빠른 시간 내에 분석이 가능하다는 게 ABB코리아의 제품 담당자 설명이다.
이 관계자는 “현재 기업들이 사용하는 많은 분석기가 직접 화학약품에 분석기를 접촉시켜 분석하는 방법을 쓰고 있는 반면, ABB분석기 ASP 310/320은 광케이블로 원거리 측정이 가능하고 분석 시 빛 투과 逆컥?적용되어 화학 샘플에 직접 장비가 접촉하지 않아, 분석기로 인한 화학제품의 오염을 원천적으로 방지하며 동시에 화학약품 분석으로 인한 분석기의 손상이 없다”고 설명했다.
가격도 기존 모델과 비교했을 때 획기적으로 낮아졌지만 5년간 소모품을 교체하지 않아도 되기 때문에 유지비 또한 절감할 수 있다는 게 ABB코리아의 설명이다. 또한 분석시간이 10-30초 정도로 빠른 편이며 터치 스크린을 통해 실시간 결과를 확인할 수 있다. 분석 데이터는 USB나 원격/무선 전송을 통해 외부 PC로 옮겨 확인할 수도 있다.
ABB코리아 최민규 대표는 “ABB 분석기는 NASA가 오존측정을 위해 인공위성에 탑재할 정도로 우수한 기술력을 인정 받고 있다”며 “이 기술을 그대로 적용하여 반도체 공정 내에서 작업자의 안전과 공정의 정밀도 향상을 위한 솔루션을 보다 적극적으로 선보이고자 한다”고 강조했다.
한편, ABB는 이번 전시회 동안 에너지 소모를 50~90%까지 절약하는 인버터(드라이브) 패키지도 함께 선보일 예정이다. ABB는 경제성장에 따른 에너지 소비 및 탄소배출 증가의 탈동조화에 기여하고자 기술 노하우에 대한 공유와 응용방안에 대해 조언을 위해 최근 유엔 네트워크에 가입한 바 있다.
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