매엽 고온황산장비는 웨이퍼 경면을 반전해 공정 처리하는 방식을 적용한다. 기존 장비에서 발생하던 부식 및 역오염 등의 예방과 제어가 가능하다는 설명이다.
기존 장비는 약품간의 화학적 반응작용을 통해 약액의 온도를 120~150도 사이로 올리는 방식을 사용해 왔다. 그러나 약품 사용량이 많고 최근 환경적 측면이 강조되고 있는 상황에서 사용된 약품의 처리 문제 등 단점이 존재했다고 회사 측은 전했다.
반면 이번 장비는 웨이퍼 온도를 200도 이상 순간 가열, 케미칼 소모량을 30% 이하로 감소시켜 환경적 측면에서 유리하고 공정시간 또한 단축시킬 수 있는 장점이 있다는 것이다.
제우스 관계자는 "이 장비는 향후 메모리 공정 뿐 아니라 시스템LSI 공정으로 확대가 가능하다"며 "장비수주 확대가 가능하다는 점에서 가치가 높다"고 말했다. 이어 "일본 자회사인 J.E.T와의 협력으로 영업 시너지 효과 또한 극대화 될 것으로 예상하고 있다"고 덧붙였다.
제우스는 최근 연구개발(R&D) 투자비율이 4.5% 이상으로, 장비 개발도 탄력을 받을 것으로 예상하고 있다.
한경닷컴 한민수 기자 hms@hankyung.com
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