테스, 박막증착장치 특허 취득

[ 정혁현 기자 ] 테스는 7일 박막증착장치관련 특허를 취득했다고 공시했다.

이 회사는 "이번 특허는 기판 처리량을 현저하게 향상시킬 수 있고, 기판 표면에 증착이 균일하게 이뤄지도록 해 우수한 품질의 박막을 제공할 수 있게 하는 기술"이라며 "신규 제품 개발 시 특허기술을 적용해 제품 경쟁력을 높일 것"이라고 밝혔다.


한경닷컴 정혁현 기자 chh03@hankyung.com