테스, 인라인 기판처리시스템 특허 취득

테스는 인라인 기판처리시스템 및 로드락챔버 관련 특허를 취득했다고 15일 공시했다.

회사 측은 "이번 특허로 로드락챔버의 압력을 변경해야 하는 과정을 생략, 공정 시간을 단축할 수 있다"며 "인라인 기판처리 시스템의 생산효율이 향상되는 효과가 있다"고 밝혔다.


한경닷컴 오정민 기자 blooming@hankyung.com

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