테스는 "하부막에 데미지가 발생하는 것을 방지하면서 식각 부산물 및 흄을 모두 제거할 수 있는 특허"라며 "기판처리시스템의 설치면적 대비 생산성이 향상되는 효과도 볼 수 있다"고 설명했다.
한경닷컴 이지현 기자 edith@hankyung.com
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