테스는 인라인 기판처리시스템 관련 특허를 취득했다고 7일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허를 이용하면 트레이를 사용하지 않고 복수의 기판을 한 번에 공정챔버로 이송할 수 있다"며 "장비 제조시 특허기술 적용을 통해 제품 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.
한경닷컴 오정민 기자 blooming@hankyung.com
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