회사 측은 "이번 특허가 대기압과 같은 높은 압력에서도 안정적인 방전이 가능해 라디칼을 이용한 기판 처리 공정이 용이한 장점이 있다"며 "장비 제조시 특허기술을 적용할 계획"이라고 밝혔다.
한경닷컴 오정민 기자 blooming@hankyung.com
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