청주 흥덕경찰서에 따르면 이날 오후 2시50분께 하이닉스 청주 제3공장에서 감광액(PR) 1ℓ가 누출됐다. 감광액은 반도체 제조 때 실리콘 원판 표면에 미세 회로를 그리는 공정에 쓰이는 액체다. 이 액체는 고위험군에 포함되지는 않지만 유해화학물질로 분류된다는 게 경찰의 설명이다. 이 사고는 공장 직원이 1ℓ 단위로 포장돼 있는 감광액 포장 용기를 옮기던 중 바닥에 떨어뜨려 발생했다.
SK하이닉스는 사고 직후 경찰과 소방당국에 신고했고 바닥에 있는 감광액을 다 닦아내 공장 외부 유출이나 인명 피해는 전혀 없다고 설명했다.
청주=임호범 기자 ihb@hankyung.com
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