지난 1년간 ASML서 1조원대 노광장비 도입…"미, 자국 업체 SMIC 수출 승인"
(상하이=연합뉴스) 차대운 특파원 = 도널드 트럼프 대통령 재임 말기 시작된 미국 정부의 제재로 제품 생산에 필요한 장비와 재료를 구하는 데 어려움을 겪는 중국 파운드리(반도체 위탁생산)가 SMIC(中芯國際·중신궈지)가 네덜란드 업체와 첨단 반도체 생산 장비 구매 계약을 연장하는 데 성공했다.
미국 정부도 자국 반도체 설비·재료 업체들이 SMIC에 제품을 공급할 수 있도록 여러 건의 수출 승인을 내준 것으로 전해지면서 바이든 행정부 출범 후 SMIC를 대상으로 한 제재가 일부 약화하는 조짐이 나타나고 있다는 평가도 나온다.
4일 중국 반도체 전문 매체 지웨이왕(集微網)과 로이터 통신에 따르면 SMIC는 전날 늦은 오후 낸 성명을 내고 2020년 12월 31일 끝날 예정이던 네덜란드 ASML과의 대량 반도체 장비 공급 계약을 2021년 말까지로 1년 더 연장했다고 밝혔다.
또 SMIC는 최근 1년간 ASML에서 공급받은 장비 가격이 총 12억 달러(약 1조3천500억 원)에 달했다는 내용도 공개했다.
두 회사의 계약 연장은 작년 12월 미국 상무부가 중국군과의 관련 의혹을 제기하면서 SMIC를 수출 제한 블랙리스트에 올린 후 이뤄졌다는 점에서 주목된다.
네덜란드 회사인 ASML은 첨단 노광장비를 거의 독점적으로 공급해 세계 반도체 공급사슬에서 매우 중요한 역할을 하는 회사다. 삼성전자, TSMC 같은 세계적 반도체 회사들이 서로 이 회사의 노광장비를 확보하려고 치열하게 경쟁해 '슈퍼 을'로 불리기도 한다.
반도체 제품을 생산하려면 실리콘 웨이퍼에 극자외선(EUV) 같은 파장이 짧은 광원을 비춰 극도로 미세한 회로를 새겨 넣어야 하는데 이때 쓰이는 것이 바로 ASML의 노광장비다.
따라서 최근 미국 상무부 블랙리스트에 새로 오른 SMIC는 ASML과 이번 계약 연장을 통해 당장 한숨을 돌릴 수 있게 됐다.
다만 ASML 측은 SMIC에 공급하는 것이 최첨단인 EUV 공정 노광 장비가 아니라 이보다는 좀 더 구형인 DUV(심자외선·deep ultraviolet lithography) 공정 노광 장비가 될 것이라고 설명했다.
미국의 제재 속에서도 ASML이 SMIC와 계약을 연장한 것은 미국에는 그리 달갑지 않은 소식이라는 지적도 나왔다.
익명을 요구한 미국 반도체 기업 임원은 로이터 통신에 "이는 인공지능 국가안보위원회'(NSCAI)의 권고에 정면으로 타격을 가하는 것"이라며 "이 이슈(SMIC 제재)와 관련해 동맹들 사이에 얼마나 차이가 큰 것인지를 보여준다"고 말했다.
2018년 국방수권법에 따라 설치된 NSCAI는 최근 낸 보고서에서 미국 정부가 네덜란드, 일본과 협력해 중국에 핵심 반도체 장비 수출 허가가 이뤄지지 않게 해야 한다고 권고했다.
이런 가운데 미국조차도 이미 SMIC에 일부 장비와 재료 수출 허가를 내어주고 있다는 소식도 전해지고 있다.
모건스탠리는 최근 보고서에서 최첨단 미세 공정을 제외한 일반 성숙 공정 분야와 관련해서는 미국 설비 공급상들이 최근 SMIC 대상 제품 공급과 현장 지원 서비스를 이미 재개했다면서 SMIC의 경영 전망이 한층 밝아졌다고 평가했다.
SMIC는 중국이 사활을 걸고 추진하는 '반도체 자급' 실현의 최전선에 있는 파운드리(반도체 위탁생산) 업체다.
미중 신냉전 속에서 미국의 기술 압박에 곤란함을 겪는 중국은 대규모 공적 자금을 직접 투자하고 파격적인 세제 혜택을 주는 등 전폭적으로 이 회사를 밀어주고 있다.
최근 들어서야 선진 미세 공정의 문턱으로 여겨지는 14㎚ 공정 제품을 생산하기 시작한 SMIC의 기술력은 아직 세계 최대 파운드리 업체인 대만 TSMC나 한국 삼성전자의 수준에 한참 미치지 못한다.
중국 정부의 강력한 지원 속에서 연내 12㎚ 선진 공정이 적용된 반도체를 대량 양산하기로 하는 등 미세 공정 연구·개발에 박차를 가하고 있다.
그러나 미국 정부의 제재가 궁극적으로 SMIC가 10㎚ 이하급의 미세 공정 반도체 기술을 확보하지 못하도록 막는 데 있다는 점에서 이 회사가 최첨단 미세 공정 반도체를 만드는 과정에서는 계속 큰 어려움을 겪을 수 있다는 관측도 여전하다.
ASML이 SMIC에 최첨단 EUV 장비 대신 이보다 한 등급 낮은 DUV 장비를 팔기로 한 것도 미국의 제재를 의식했기 때문으로 풀이된다.
로이터 통신은 "2019년 트럼프 행정부는 네덜란드에 압력을 가해 EUV 장비의 SMIC 판매가 취소되게 했다"며 "네덜란드 정부는 당시 수출 면허를 불허했고 최근까지도 다시 승인하지 않고 있다"고 전했다.
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