"국내 최초 반도체 호환공정 적용…비접촉식 체온계 센서 양산 성공"
(서울=연합뉴스) 정윤주 기자 = 나노종합기술원은 국내 중소기업 템퍼스와 함께 개발한 마이크로 적외선 온도센서를 이용한 비접촉식 체온계가 미국 식품의약국(FDA)의 승인을 받았다고 17일 밝혔다.
나노종기원과 템퍼스는 신종 코로나바이러스 감염증(코로나19) 유행으로 비접촉식 온도측정 수요가 폭증함에 따라 체온계용 적외선 온도센서 개발을 추진, 인체감지에 유리한 원적외선(8~14㎛대)를 검출하는 실시간 마이크로 적외선센서를 개발하고 양산기술 개발에도 성공했다.
나노종기원은 이번에 개발한 센서는 미세기계전자시스템(MEMS) 기반 공정에 반도체 제조공정(CMOS)을 접목해 생산성을 획기적으로 높였고 경쟁제품보다 감도가 3~5배 우수한 게 특징이라고 설명했다.
개발한 온도 센서로 제작한 비접촉식 체온계는 지난 15일 미국 FDA의 공식 인정을 받아 미국 수출을 앞두고 있다고 나노종기원은 덧붙였다.
신백규 템퍼스 대표는 "적외선 영역 1~25㎛ 파장대까지 검출할 수 있는 적외선 센서 기술력과 나노종기원의 반도체 공정기술 협업으로 제품 양산이 가능해졌다"고 말했다.
고서곤 과기정통부 기초원천연구정책관은 "시스템반도체와 센서, 소재·부품·장비 등 분야에서 기술자립을 위해 나노인프라 기관과 기업 간 연계를 강화할 것"이라고 말했다.
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