삼성전자 등 세계 반도체 업체들이 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML의 첨단 장비 공급을 기다리는 중에 ASML이 최첨단 반도체 양산에 필요한 하이NA 극자외선(EUV) 노광장비 첫 제품을 인텔에 공급한 사실이 드러났다.
ASML이 최신 반도체 제조 장비의 첫 주요 부품을 미국 오리건주에 있는 인텔의 D1X 공장으로 배송했다고 블룸버그통신은 22일(현지시간) 익명의 소식통을 인용해 보도했다. D1X 공장은 인텔의 미래 생산 기술을 개발하는 시설이다. 인텔과 ASML 측은 이 장비가 최종적으로 어디로 향하는지 밝히지 않았다.
ASML은 21일 소셜 미디어 X에 올린 게시물에서 "인텔에 첫 번째 하이 NA EUV 시스템을 출하하게 돼 기쁘고 자랑스럽다"고 밝혔다.
팻 겔싱어 인텔 최고경영자(CEO)는 앞서 자사가 이 첨단 장비를 가장 먼저 도입할 것이라며 반도체 제조 선두 재탈환 의지를 드러낸 바 있다. 인텔은 오는 2025년에 이 새 장비를 활용해 반도체를 생산할 계획이다.
ASML은 반도체 제조업체들의 자사 장비 의존도를 유지하기 위해 계속 신기술을 내놓는 EUV 노광장비 분야 세계 최고 제조업체다. 삼성전자와 TSMC, 인텔 등이 최첨단 반도체를 만들기 위해 ASML의 장비를 사용한다.
트윈스캔 EXE:5200으로 불리는 ASML의 이번 노광장비 첫 번째 모델 가격은 약 2억7천500만 달러(약 3천580억원)일 것으로 업계에서는 추정한다.
현재까지의 ASML 최고급 장비 가격은 약 1억8천만 달러(약 2천343억원) 수준이다.
(사진=연합뉴스)
