산업통상자원부는 미국 실리콘밸리에서 미국 투자가들을 대상으로 투자유치활동을 벌인 결과 이 같은 성과를 냈다고 밝혔다.
성윤모 산업부 장관은 듀폰의 존 켐프 사장을 별도로 만났고, 이 자리에서 듀폰사는 일본의 수출규제 3대 품목 중 하나인 EUV용 포토레지스트의 개발과 생산시설을 구축하기 위한 투자신고서를 제출했다.
듀폰사의 투자금액은 2천800만 달러 규모이며, 투자예상기간은 2020년~2021년, 투자지역은 충남 천안 이다.
현재 듀폰사는 한국내 자회사인 롬엔드하스전자재료코리아를 통해 지난 1998년부터 충남 천안에 2개의 공장을 가동중이다.
여기서 반도체 회로기판용 소재와 부품을 생산해 오고 있다.
듀폰사는 천안에 포토레지스트 생산 설비를 구축한다는 계획이다.
존 켐프 사장은 "EUV용 포토레지스트 개발과 생산을 위해 앞으로 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력해 나갈 계획이다"고 밝혔다.
성윤모 산업부 장관은 "최근 일본 정부가 EUV용 포토레지스트에 대한 `특정 포괄허가` 조치를 했지만 근본적인 해결방안으로 보기는 어렵다"며, " 핵심 소재, 부품, 장비에 대한 기술경쟁력 확보와 공급선 다변화는 계속 추진할 것이다"고 언급했다.
