일본이 지난달 초 수출 규제 조치 이후 처음으로 고순도 불화수소 즉, 에칭가스 수출을 허가한 것으로 오늘(29일) 확인됐다.
그동안 수출이 제한된 반도체·디스플레이 소재 3대 품목 가운데 감광액인 포토레지스트 수출은 일본이 두차례 허가했지만, 불화수소는 처음이다.
산업통상자원부 당국자는 "오늘 일본이 불화수소 가스 수출 한 건을 허가한 사실을 업계에서 확인했다"고 밝혔다.
수출 허가 신청은 일본이 수출 규제에 들어간 지난달 4일 전후로 알려졌으며, 정확한 수출물량과 순도는 아직 확인되지 않았다.
이번 불화수소를 수입하는 기업은 삼성전자인 것으로 알려졌다.
불화수소는 반도체 제조 공정에서 회로를 새길 때 사용하는 필수 소재이다.
삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업에서 포토레지스트와 함께 확보에 주력했던 소재이기도 하다. 다만 일본 정부는 수출허가에 대한 사실관계 확인을 거부했다.
일본 경제산업성 관계자는 한국에 대한 불화수소 수출을 허가했느냐는 질의에 "우리는 그런 사실을 발표하지 않았다. 개별 회사에 관련된 정보를 우리가 공표하는 것은 기본적으로 없다"고 답했다.
이어 일본 정부가 한국에 대한 불화수소 수출을 허가했다는 정보가 사실인지 여부를 확인해줄 수 없다고 덧붙였다.
정부 당국자는 "이번에 또 불화수소를 한 건 허가해줬다고 해서 일희일비할 사안은 아니다"라면서 "한국 정부 입장은 수출 규제를 무조건 철회하라는 것"이라고 선을 그었다.
앞서 일본은 지난달 수출 규제 조치 이후 7일 포토레지스트 수출을 허가했고, 19일에 추가로 포토레지스트 수출을 승인했다.
이로써 최장 90일의 개별허가 심사 대상인 3대 품목 가운데 플루오린 폴리이미드만 아직 수출 허가가 나지 않았다.
