[공시] 원익아이피에스, 가스 분사장치 관련 특허 취득

원익아이피에스는 가스 분사장치와 이를 구비하는 기판 처리장치 특허권을 취득했다고 3일 공시했습니다.

이 특허는 반도체 제조장치 내 가스 분사장치에서 나오는 공정 가스의 흐름을 원활하게 하고 파티클(입자) 발생을 억제하기 위한 기술입니다.