다채널 분광타원계측기는 반도체, 디스플레이, 태양광 박막소자 분야에서 박막두께를 실시간으로 측정하는 장비이다.
완제품의 품질 및 성능은 박막 두께 측정의 정확도에 좌우되기 때문에 품질검사에 필수적인 장비로 활용되고 있다.
연구팀은 기존 계측기의 편광자 2개에 빛의 파동방향을 제어하는 편광자 한 개를 추가로 설치해 오차 요인을 줄였다.
이번에 개발한 계측기로 3 나노미터 두께의 이산화규소 박막시편을 0.002 나노미터 정밀도로 측정하는 데 성공했다.
현재 산업체에서 요구하는 분광타원계측기의 정밀도는 0.01 나노미터 수준이지만, 2016년에는 0.008 나노미터 이하의 높은 정밀도가 필요할 것으로 예상된다.
제갈원 박사는 "이번에 0.002 나노미터의 정확도를 구현함으로써, 산업체의 요구조건에 선제적으로 대응할 수 있게 됐다"면서 "현재 기술을 이전하기 위해 장치를업그레이드하는 작업을 진행 중"이라고 말했다.
jyoung@yna.co.kr(끝)<저 작 권 자(c)연 합 뉴 스. 무 단 전 재-재 배 포 금 지.>