4일 업계에 따르면 삼성전자는 지난해 말 투자 전문 계열사인 삼성벤처투자를 통해 네덜란드의 반도체 계측 스타트업 인비식스(invisix)에 대한 투자를 단행해 소수 지분을 확보했다. 인비식스는 세계 1위 극자외선(EUV) 노광장비 기업 ASML의 핵심 엔지니어 출신인 크리스티나 포터 최고경영자(CEO)와 시체 반 데르 포스트 최고기술책임자(CTO)가 2024년 설립했다. 삼성전자는 인비식스의 소프트 엑스레이(SXR) 기반의 3차원(3D) 계측 솔루션에 주목했다. 이 솔루션은 병원에서 찍는 엑스레이처럼 반도체 웨이퍼를 깎아내지 않고도 내부를 정밀하게 촬영할 수 있다.
반도체 회로가 2㎚(나노미터·1㎚=10억분의 1m)로 미세화되고 게이트올어라운드(GAA) 기술이 도입되면서 기존 계측 장비로는 결함을 찾는데 시간이 너무 오래 걸리고 있는 것으로 알려졌다. 삼성전자가 사활을 걸고 있는 2㎚ 기반 GAA 공정에 인비식스 솔루션을 도입하면 수율 안정화에 도움이 될 것이란 전망이 나온다.
삼성벤처투자는 미국 반도체 계측 장비 기업인 펨토메트릭스(FemtoMetrix)에도 추가 투자를 단행해 지분을 늘렸다. 2016년 첫 투자 이후 10년 만의 후속 투자다. 이 회사는 반도체 표면에 레이저를 쏴 발생하는 특수신호(SHG)를 분석해 웨이퍼 표면이나 내부의 결함을 물리적 손상 없이 찾아내는 기술을 보유하고 있다. 칩을 완성하기 전에 전기적 결함을 파악할 수 있어 공정비용과 시간을 획기적으로 절감할 수 있다. D램을 쌓아 만드는 고대역폭메모리(HBM) 공정에 이 기술을 활용하면, 적층 직전 단계에 불량 제품을 걸러낼 수 있다.
삼성이 첨단 제조 공정 기업에 눈독을 들이는 건 안정적인 수율을 확보하기 위한 목적이란 분석이 나온다. 삼성전자가 파운드리 시장에서 대만의 TSMC를 추격하기 위해선 수율 안정화 기간을 단축하는 게 필요한 것으로 평가된다.
업계 관계자는 “삼성이 유망 스타트업 투자를 통해 수율을 관리하는 구조적 시스템을 구축하려 하고 있다”라며 “초미세 공정 경쟁에서 삼성의 강력한 무기가 될 수 있을 것”이라고 말했다.
김채연 기자 why29@hankyung.com