고대역폭 메모리(HBM)와 같은 첨단 반도체는 고층 건물처럼 웨이퍼를 쌓는 ‘적층 공정’을 활용한다. 이런 구조로 인해 일반 광학 검사로는 웨이퍼 단층 속 미세 불량까지 완전히 잡아내기 어렵다. 글로벌 반도체 기업들은 투과 검사가 가능한 엑스레이 검사 시스템을 통해 품질을 확인한다. 1991년 설립된 쎄크는 국내에서 이 엑스레이 검사 장비를 생산하는 기업이다. 엑스레이 검사 장비의 핵심 부품인 엑스레이 발생장치(튜브)를 2006년 국내 최초로 국산화했다.김종현 쎄크 대표(사진)는 17일 한국경제신문과의 인터뷰에서 “2006년 당시 일본과 독일 외에 산업용 엑스레이 튜브를 개발한 곳은 쎄크밖에 없다”며 “이 원천 기술을 배터리와 방위산업 분야로도 확대할 것”이라고 말했다. 이 회사가 개발한 엑스레이 튜브는 빠른 속도로 운동하는 전자선을 텅스텐과 부딪히게 해 X선을 방출하게 만드는 부품이다. 이 과정을 통해 반도체 기판을 측정해 미세 균열 여부와 납땜이 잘됐는지 등을 확인한다. 정확도가 99.99%에 이르고 테스트 이후 실제 사용 과정에서 발생하는 진행성 불량까지 발견할 수 있다는 게 김 대표의 설명이다.
인체를 거의 그대로 찍는 의료용 엑스레이와 달리 산업용 엑스레이는 제품을 수천에서 수만분의 1로 확대해 고밀도 검사가 가능하다. 이 회사는 100만분의 1m인 마이크로미터(㎛) 단위를 넘어 500억분의 1m인 200나노미터(㎚)급의 고배율로 확대할 수 있는 HBM용 검사 장비까지 개발했다. 국내 대표 반도체 기업은 물론 최근 미국 반도체 제조사인 마이크론에도 납품하고 있다.
쎄크의 엑스레이 검사 장비는 반도체 외에 전기차 핵심 부품인 배터리에도 쓰인다. 독일 완성차 기업인 메르세데스벤츠와 현대차·기아 등에 배터리를 공급하는 국내 배터리 제조업체인 L사가 주요 고객사다.
이 회사는 3차원(3D) 엑스레이를 이용하는 비파괴 검사 장비인 선형가속기로 방산용 검사 분야에서 올해 160억원대 매출을 기대하고 있다. 미사일 검사장비를 국내 주요 방산업체에 납품한 데 이어 튀르키예와 인도 등에도 수출했다. 반도체, 배터리, 방산의 성장세에 힘입어 올해 이 회사는 지난해보다 21% 늘어난 650억원대 매출을 예상하고 있다. 김 대표는 “반도체 웨이퍼와 패널용 제품을 연내 개발하면 내년 매출이 890억원에 이를 것”이라며 “모든 산업이 성장하는 한 우리 장비도 사라지지 않고 함께 갈 것”이라고 자신했다.
은정진 기자 silver@hankyung.com
