8일 모건스탠리에 따르면 올해 중국 반도체 장비의 내재화율은 21%로 집계됐다. 해외 의존도를 줄이면서 내재화율이 5년 전인 2020년(5%)에 비해 네 배 이상 높아졌다.
2016년 중국 정부 주도로 베이팡마이크로전자와 치싱전자가 합병해 탄생한 나우라는 지난해 298억위안(약 5조7000억원)의 매출로 세계 반도체 장비 6위로 올라섰다. 나우라는 식각, 증착, 열처리, 이온 주입, 세정, 연마 등 전 공정 대부분의 장비를 국산화하고 있다.
나우라는 지난 3월 세미콘 차이나 행사에선 중국 최초의 고급 이온 주입 장비 ‘시리우스 MC 313’을 공개하며 이온 주입기 시장 진출을 공식 선언했다. 그동안 이온 주입기 시장은 어플라이드머티어리얼즈, 엑셀리스 등이 차지해 왔다.
2004년 실리콘밸리 엔지니어 출신 인즈야오 박사가 설립한 AMEC는 램리서치, 도쿄일렉트론(TEL)이 주도하는 최첨단 식각 시장을 공략하고 있다. 지난해 매출(90억위안) 가운데 27%에 달하는 24억5000만위안을 연구개발(R&D)에 투자한 AMEC는 고밀도 플라스마 식각 분야 경쟁력을 높여가고 있다.
중국 최대 노광 장비 업체인 SMEE는 극자외선(EUV) 노광기 시장을 독점한 ASML의 아성에 도전하고 있다. SMEE는 자체 기술로 심자외선(DUV) 기반 28나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1m) 노광장비를 개발한 것으로 알려졌다. ASML과 일본의 니콘, 캐논이 장악하고 있는 7~14㎚ DUV 노광기 개발도 진행 중이다.
이 밖에 세정 및 연마 분야에선 ACM, 검사 장비 영역에선 스카이버스 등이 두각을 보이고 있다. 스카이버스는 작년 하반기 KLA가 사실상 독점 중인 DUV 기반 웨이퍼 패턴 검사 장비를 내놨다.
황정환 기자 jung@hankyung.com