주성엔지니어링은 1996년 반도체 전공정 장비인 커패시터 전용 증착장비를 세계 최초로 개발해 수출하기 시작했다. 반도체 제조 공정에 쓰이는 장비를 100% 수입에 의존하던 시기였다. 주성엔지니어링은 D램 제조 생산성을 끌어올린 반도체 공정 장비를 선보이며 단숨에 국내 반도체 장비산업의 선두주자로 올라섰다.주성엔지니어링의 첫 협력사는 당시 세계 1위 반도체 장비업체 지너스였다.
황철주 주성엔지니어링 회장은 지너스를 통해 국내 한 반도체 회사에 공정 장비를 납품했다. 하지만 공정 단가가 너무 높아 양산라인에 적용하기 어렵다는 답변을 내놨다. 황 회장은 고객사 요구를 반영한 새 결과를 약 한 달 만에 선보여 납품 계약을 따냈다.
주성엔지니어링은 기술혁신을 이어갔다. 1998년 반도체 증착 공정에 적용되는 원자층증착기(ALD) 기술을 완성했다. 초미세 D램, 3D 낸드 등에 적용되는 차세대 기술이다.
주성엔지니어링은 창립 후 누적 기준 1조원 이상을 연구개발(R&D)에 투자했다. 올초에는 경기 용인에 세계 최고 수준의 인프라를 갖춘 R&D센터를 준공했다. 황 회장은 “세계 반도체산업의 새로운 혁신을 이끄는 반도체, 디스플레이, 태양광 장비 분야 세계 1위 기업으로 도약하겠다”고 밝혔다.
민경진 기자 min@hankyung.com
