14일 한국반도체산업협회와 국제반도체장비재료협회(SEMI)에 따르면 국내외 반도체 기업 100여 개가 참여하는 정보·제어 기술 위원회(I&C Technical Committee)가 최근 국내 반도체 공정기술을 국제 표준 SEMI E5-0712로 채택했다.
반도체 공정에 사용하는 850여 개의 SEMI 국제 표준 중에서 국내에서 제정한 표준은 이번이 처음이다.
SEMI E5-0712는 반도체 장비 간 통신 규격에 관한 것으로 반도체 제조 공장(팹)의 자동화에 필수적인 소프트웨어 분야 표준이다.
팹 자동화 설비를 변경할 때 발생하는 장비 간 통신 오류를 낮춰 통신 편의성을높인 것이 특징이다.
이번 표준 제정은 한국반도체산업협회에서 지식경제부 산업융합원천기술개발사업으로 수행 중인 차세대 반도체 장비 및 소자의 표준화 기술개발 과제의 하나로 추진됐다.
engine@yna.co.kr(끝)<저 작 권 자(c)연 합 뉴 스. 무 단 전 재-재 배 포 금 지.>