벨기에 소재한 한 업체에서 포토레지스트 조달
일본 정부의 반도체 소재 한국 수출 규제로 국내 기업들의 소재 조달 문제가 중요 과제로 떠오른 가운데 삼성전자가 이미 벨기에에서 일부 핵심 소재를 조달하고 있는 것으로 알려졌다.
일본 경제전문 매체 '닛케이 아시안 리뷰'는 삼성 간부 출신인 한양대 박재근(반도체공학) 교수를 인용해 "삼성전자가 벨기에에 소재한 한 업체에서 포토레지스트(감광액)를 조달하고 있다"고 11일 보도했다.
박 교수에 따르면 삼성전자는 최첨단 칩 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 저장하는 데 사용하는 이 화학물질을 6~10개월 단위 물량으로 구입하고 있다.
이 매체는 박 교수가 벨기에 공급업체 이름을 공개하지 않았지만 일본 기업 JSR와 벨기에 연구센터 IMEC가 2016년 설립한 합작법인 EUV레지스트일 것으로 추정했다. 이 합작회사의 최대 주주는 JSR의 벨기에 자회사인 JSR마이크로다.
이 매체는 다만 일본 기업이 제3국의 시설을 통해 한국에 규제 품목을 공급하는 것은 합법적이어야 한다며 일본 정부의 감시를 받을 수 있다고 덧붙였다.
포토레지스트는 일본 경제산업성(경산성)이 지난달 4일부터 한국에 대한 1차 수출규제를 가한 이후 규제 대상이 된 3개 가운데 첫 번째로 허가가 나온 품목이다.
경산성은 지난 8일 개별 수출 신청이 들어온 삼성전자용 포토레지스트 수출건에 대해 군사전용 우려가 없다고 판단해 통상 심사 기간(90일)을 대폭 단축해 한 달여 만에 승인했다고 이례적으로 발표했었다.
경산성은 당시 예상보다 빠른 허가를 내주면서 요건이 맞으면 규정에 따라 수출 승인을 계속 내줄 것이라며 일본의 수출 규제가 정치적 목적이 아니라 수출관리 차원에서 이뤄지는 것임을 강조하는 명분으로 삼았다.
이런 정황 때문에 경산성이 조기 허가를 내준 배경에 삼성전자가 대체 공급원을 확보한 점을 고려한 게 아니냐는 관측이 나오고 있다.
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