[ 정형석 기자 ] 반도체 전공정 장비업체인 테스(대표 주숭일)는 20일 산업통상자원부가 지정하는 세계일류상품에 자사의 '산화막건식세정장비'가 선정됐다고 밝혔다.
세계일류상품은 대한민국 대표상품을 육성하기 위해 산업통상자원부에서 선정하는 것으로, 세계 일류의 수출상품 육성, 미래 수출동력 확충 등을 위해 추진되고 있다. ‘세계시장 연 5000만달러 이상’, ‘세계시장 점유율 5위 이내’ 등 엄격한 기준과 심사를 거쳐 선정된다.
이번에 세계일류상품에 선정된 테스의 '산화막건식세정(Oxide Dry Cleaning) 장비'는 플라즈마를 사용하지 않고 건식 식각(Etch)기술을 이용해 웨이퍼(Wafer) 표면에 불필요한 부분을 제거하는데 사용되는 전공정 핵심장비로, 올해 선정된 현재 세계일류상품 중 반도체 장비로는 유일하다.
특히 가스방식의 선택적인 식각을(Etch) 일으키는 기술을 적용해 식각량 제어가 용이하고 플라즈마로 인한 데미지가 전혀 없다는 장점이 있다는 게 회사측 설명이다.
회사 관계자는 "300mm 웨이퍼용 산화막 건식세정 장비는 테스가 2010년도에 국내 최초로 양산에 성공해 현재까지 국내 장비업체 중 유일하게 양산중인 제품"이라며 "이 장비외에도 하드마스크 증착장비인 PECVD ACL장비도 4년 연속 세계일류상품으로 지정돼 높은 매출 성장세를 나타내고 있다"고 말했다.
이재호 테스 사장은 "세계일류상품선정에 자만하지 않고 변화하는 기술트렌드에 적극 대응해 고객만족도 및 세계시장 점유율 향상을 위해 연구개발을 더욱 강화할 계획"이라고 밝혔다.
한경닷컴 정형석 기자 chs8790@hankyung.com
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