에코프로에이치엔, 삼성E&A에 330억 온실가스 저감시스템 공급
국내 반도체사에 도입…낮은 온도에서도 과불화화합물 온실가스 분해
(서울=연합뉴스) 임성호 기자 = 에코프로에이치엔은 삼성E&A에 330억원 규모의 중앙식 온실가스 저감 시스템(RCS)을 내년 말까지 공급한다고 27일 밝혔다.
공급된 설비는 국내 반도체 기업에 도입될 예정이다.
RCS는 반도체 공정에서 발생하는 과불화화합물(PFCs)을 처리하는 대용량 온실가스 저감 시스템이다.
과불화화합물은 이산화탄소와 비교해 수천∼수만 배 이상 높은 지구온난화지수(GWP)를 지녀 반도체 제조 현장에서 반드시 해결해야 할 핵심 환경 과제로 꼽힌다.
에코프로에이치엔은 독보적인 촉매 기반 온실가스 저감 기술을 바탕으로 RCS 효율을 세계 최고 수준으로 높였다고 설명했다.
기존 열분해 처리 시스템은 온실가스 저감을 위해 1천300∼1천400도 수준의 초고온 공정이 필요했지만, 에코프로에이치엔의 RCS는 약 750도∼800도에서 분해할 수 있다. 이를 통해 에너지 사용량을 약 95% 절감한다.
이번 수주는 국내 반도체사로부터 RCS 설비의 우수성을 재확인받아 사업 연속성을 확보한다는 의미가 있다고 에코프로에이치엔은 설명했다.
sh@yna.co.kr
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