SK머티리얼즈, 불화수소 국산화 투자…"올해 말 샘플 생산"
(서울=연합뉴스) 최재서 기자 = SK그룹 계열사 SK머티리얼즈[036490]가 일본 수출 규제 품목에 포함된 고순도 불화수소(HF·에칭가스) 개발을 본격화한다.
SK머티리얼즈 관계자는 26일 "자사가 생산하는 삼불화질소에 불화수소를 원료로 사용해왔는데, 기술적으로 국산화가 가능할 것이라고 판단했다"면서 "고순도 불화수소 설비투자를 통해 올해 말까지 샘플을 생산하는 게 목표"라고 말했다.
샘플을 생산해 검증을 완료하면 이후 본격 양산을 통해 반도체 업체에 불화수소를 납품할 계획이다.
다만 현재까지는 어느 업체에 납품할지, 샘플이 어느 정도 품질 수준을 달성할 수 있을지는 구체적으로 밝힐 순 없다는 설명이다.
SK머티리얼즈는 반도체 공정용 특수가스를 제조하는 소재 업체로 국내에서는 삼성전자[005930], SK하이닉스[000660] 등을 주요 고객으로 두고 있다.
이들 반도체 업체가 일본에서 수입한 고순도 불화수소는 순도 99.9999999999%(9가 12개)의 제품으로 대체하기가 쉽지 않고, 국산 제품을 사용하려면 3개월가량의 테스트 기간 또한 거쳐야 하는 것으로 알려졌다.
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