반도체 생산 공정 가스·먼지 동시에 잡는다
한국기계연구원, 정전 방식 저감 장치 개발
(대전=연합뉴스) 이재림 기자 = 한국기계연구원(기계연)은 환경시스템연구본부 환경기계연구실 김용진 박사 연구팀이 반도체 공정에 쓸 수 있는 가스·먼지 동시 저감 장치를 개발했다고 25일 밝혔다.
반도체 생산 과정에서는 육불화황, 사불화탄소, 삼불화질소, 초미세먼지 등 다양한 인체 유해 오염 물질이 발생한다.
일반적으로 이들을 제거하기 위해선 선택적 촉매 환원(SCR)과 습식 스크러버 등을 진행하는데, 설비 구축이나 찌꺼기 처리 등에 손이 많이 간다.
연구팀이 개발한 장치는 정전 산화·습식 환원·습식 전기집진 방식을 하나로 결합했다.
배기가스를 물에 잘 녹는 수용성 상태로 만들고서 복합 환원제를 뿌려 없애는 원리다.
최종적으로 배출되는 초미세먼지는 자동 세정형 전기집진 장치로 제거해 정화 효율을 높였다고 기계연 측은 설명했다.
해당 공정을 적용하면 기존보다 설비 규모를 30％가량 줄일 수 있을 것으로 연구팀은 보고 있다.
연구팀은 정전방식 가스·먼지 동시 저감장치 기술을 연구소 기업(엔노피아)과 함께 시범 적용했다.
김용진 박사는 "습식 자동 세정형 전기집진기의 저배압·고내구성 장점을 합쳐놨다"며 "제조 라인 내부에서 직접 운용할 수 있을 것"이라고 말했다.
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