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테스, 플라스마 처리장치 특허권 취득

입력 2018-10-12 13:34
테스, 플라스마 처리장치 특허권 취득

(서울=연합뉴스) 임은진 기자 = 반도체 제조용 기계 제조업체 테스[095610]는 플라스마 처리장치 및 이를 이용한 탄소막의 증착 방법에 대한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.

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