싸이맥스, 로드포트 정렬 측정장치로 국내 특허
(서울=연합뉴스) 권수현 기자 = 코스닥 상장 반도체 제조용 기계 업체 싸이맥스[160980]는 '로드포트 정렬 측정장치'로 국내 특허를 취득했다고 5일 공시했다.
회사 측은 "특허는 웨이퍼나 반도체 제조 시 기판의 반송에 사용되는 로드포트에서 구동 상의 정렬 상태를 측정하는 장치에 관한 것"이라며 "향후 웨이퍼 이송 장비인 로드포트모듈(LPM) 생산에 적용할 계획"이라고 설명했다.
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