테스, 발광소자 보호막 증착 방법으로 국내 특허
(서울=연합뉴스) 권수현 기자 = 테스[095610]는 디스플레이 장비에 적용되는 발광소자 보호막 증착 방법 관련 기술로 국내 특허를 취득했다고 21일 공시했다.
회사 측은 "특허는 원자층 증착(ALD)과 플라즈마 화학기상 증착(PECVD)의 장점을 모두 포함한 하이브리드 형태의 보호막 증착에 대한 것"이라며 "해당 기술을 이용하면 보호막 두께를 더 얇게 할 수 있어 공정시간을 줄이면서 플렉서블한 특성을 유지할 수 있다"고 설명했다.
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